光氧催化废气处理设备技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CHCl3、CCl4、多氯联苯等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分解产生羟基自由基的速率大大加快，促进有机物的氧化去除。应用于工业废气治理中的紫外线波长为154nm-254nm，波长越短能量越大。在这个波长区域中，由于154nm-185nm的波长相对比较短所以“杀伤”的空间范围也较小。而185nm-254nm尽管波长较长但是杀伤空间范围相对较大。

光氧催化废气处理设备主要利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二硫化碳和苯乙烯、硫化物H2S,VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物的分子链在高能紫外线的光束的照射下降解转变成低分子化合物，如CO2和H2O等。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子及水分子产生游离氧（活性氧）和OH自由基，因游离氧和所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2---O_+O*(活性氧)+O2---O3（臭氧），众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对工业废气及其它异味有立竿见影的清除效果.